MICRO-EPSILON（米銥）作為德國專注精密測量技術(shù)的企業(yè)，深耕工業(yè)傳感器研發(fā)與制造超 50 年，總部位于德國奧格斯堡，是全球范圍內(nèi)工業(yè)高精度傳感領域的核心參與者之一。公司聚焦非接觸式測量技術(shù)，構(gòu)建了覆蓋位移、距離、輪廓、溫度、顏色及 3D 形貌檢測的完整產(chǎn)品體系，憑借扎實的技術(shù)積累與工程經(jīng)驗，服務于工業(yè)自動化、汽車制造、半導體、新能源等多個關鍵領域，為工業(yè)生產(chǎn)的精度控制、質(zhì)量檢測與工藝優(yōu)化提供核心技術(shù)支撐Micro-Epsilon。

一、核心技術(shù)體系與原理

MICRO-EPSILON 的技術(shù)核心圍繞非接觸式精密測量展開，規(guī)避接觸式測量的磨損、干擾等問題，核心技術(shù)涵蓋激光三角測量、共聚焦白光測量、電容式傳感、渦流傳感、3D 輪廓掃描及紅外測溫等，各技術(shù)適配不同測量場景與精度需求。

（一）激光三角測量技術(shù)

該技術(shù)是公司應用較廣的核心技術(shù)之一，核心原理為激光發(fā)射器發(fā)射線性激光至被測物體表面，反射光經(jīng)光學透鏡聚焦至 CCD/CMOS 感光芯片，通過光斑位置偏移量，結(jié)合幾何算法計算被測物體的位移、距離或輪廓數(shù)據(jù)。

代表產(chǎn)品為 optoNCDT 系列激光位移傳感器，具備緊湊化設計、高測量速率與強抗環(huán)境光干擾能力，可適配高反射、啞光等多種材質(zhì)表面，測量范圍覆蓋微米級至米級，線性度可達 ±0.1μm 級別，廣泛用于工業(yè)在線距離與位移檢測。

（二）共聚焦白光測量技術(shù)

confocalDT 系列共聚焦傳感器基于白光色散原理，將寬光譜白光分解為不同波長的單色光，通過光學聚焦系統(tǒng)使不同波長光線聚焦于不同焦平面。被測物體表面反射的特定波長光線經(jīng)光路反饋，通過識別聚焦波長即可精準計算距離與厚度，尤其適合透明 / 半透明材質(zhì)（如玻璃、薄膜、晶圓）的厚度測量與多層結(jié)構(gòu)檢測。

該技術(shù)無激光干涉效應，軸向分辨率可達納米級，可實現(xiàn)微小形貌、透明涂層厚度的高精度測量，適配半導體、光學元件制造等場景Micro-Epsilon。

（三）電容式傳感技術(shù)

電容式傳感器基于平行板電容原理，通過檢測傳感器電極與被測導電物體間的電容變化，換算位移、距離或厚度數(shù)據(jù)。MICRO-EPSILON 采用三軸設計（區(qū)別于傳統(tǒng)同軸設計），增設獨立供電保護環(huán)，形成均勻電場，抑制周邊導電物體干擾，提升測量穩(wěn)定性與線性度。

產(chǎn)品具備耐溫、抗振動特性，可在油霧、粉塵等惡劣工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定運行，實現(xiàn)亞微米級精度測量，適配電池極片厚度、半導體晶圓平面度、精密機械間隙檢測等場景。

（四）3D 輪廓掃描技術(shù)

scancontrol 系列 2D/3D 激光輪廓掃描儀融合高速激光線掃描與圖像處理技術(shù)，發(fā)射紅色或藍色激光線至被測表面，通過高速相機采集輪廓圖像，實時生成二維輪廓數(shù)據(jù)或三維點云模型。

藍色激光適配高反射、高溫物體（如焊接件、金屬熔融表面），可減少熱輻射干擾；紅色激光適配常規(guī)工業(yè)表面。設備測量速率可達數(shù)萬點 / 秒，可在線檢測間隙、臺階、角度、焊縫形貌等參數(shù)，適配焊接自動化、汽車車身檢測、3C 產(chǎn)品外觀缺陷篩查等場景。

（五）紅外測溫與顏色傳感技術(shù)

紅外測溫傳感器：基于物體紅外輻射能量與溫度的對應關系，通過紅外探測器采集輻射信號，換算表面溫度，實現(xiàn)非接觸、高速溫度檢測，適配高溫工業(yè)場景（如金屬鍛造、塑料加工），測溫范圍覆蓋 - 50℃至 2000℃，響應時間可達毫秒級。

顏色傳感器（colorSensor CFO 系列）：通過采集物體反射光的光譜信息，與標準色庫比對，實現(xiàn)顏色識別、色差檢測，測量速率高，可集成至自動化生產(chǎn)線，適配印刷、涂裝、食品包裝等行業(yè)的顏色一致性檢測。

二、核心產(chǎn)品系列及關鍵參數(shù)

MICRO-EPSILON 產(chǎn)品聚焦工業(yè)精密測量，核心產(chǎn)品系列及關鍵特性如下表所示：

表格

產(chǎn)品系列核心技術(shù)測量范圍精度 / 分辨率核心應用場景

optoNCDT 1900激光三角測量2mm–1000mm線性度 ±0.1μm；抗環(huán)境光 10000lx工業(yè)自動化、機械制造、在線距離檢測

confocalDT 2470共聚焦白光0.1mm–30mm軸向分辨率≤10nm；橫向分辨率≤1μm半導體晶圓、玻璃、薄膜厚度測量

scancontrol 26003D 激光輪廓視場 50–500mm；深度 ±25mmZ 軸重復精度 0.25μm；XY 分辨率 8μm焊接輪廓、汽車車身、3C 產(chǎn)品檢測

電容式傳感器（CapaNCDT）電容傳感0.05mm–5mm分辨率≤0.01μm；線性度≤±0.05%電池極片、半導體平面度、精密間隙

surfaceCONTROL3D 快照測量100mm×100mm–500mm×500mm點云分辨率可達 0.1mm汽車焊點幾何形態(tài)、大面積形貌檢測Micro-Epsilon

colorSensor CFO100顏色傳感CIE Lab 色域色差精度 ΔE≤0.5涂裝、印刷、包裝顏色一致性檢測

三、典型工業(yè)應用場景

（一）汽車制造

汽車行業(yè)是 MICRO-EPSILON 的核心應用領域，覆蓋車身焊接、零部件加工、質(zhì)量檢測全流程Micro-Epsilon。

點焊質(zhì)量檢測：surfaceCONTROL 3D 快照傳感器單次測量生成焊點高清點云，精準檢測焊點高度、直徑、形狀偏差，替代傳統(tǒng)二維視覺系統(tǒng)，減少返工與廢品率Micro-Epsilon。

制動盤涂層檢測：激光傳感器測量碳化鎢 / 碳化鈦保護涂層厚度（100–500μm），適配歐 7 排放標準對制動部件的檢測要求Micro-Epsilon。

車身間隙與面差檢測：scancontrol 掃描儀在線檢測車門、引擎蓋與車身的間隙（±0.1mm）與面差，提升車身裝配精度。

（二）半導體與電子制造

半導體行業(yè)對測量精度要求嚴苛，MICRO-EPSILON 產(chǎn)品適配晶圓檢測、芯片鍵合、精密定位等場景Micro-Epsilon。

晶圓平面度檢測：電容式傳感器非接觸測量晶圓彎曲、扭曲變形，精度達亞微米級，保障混合鍵合工藝可靠性Micro-Epsilon。

晶圓 3D 形貌測量：reflectCONTROL 偏折法測量系統(tǒng)通過條紋投影，單次成像檢測 150–300mm 晶圓平整度，適配半導體量產(chǎn)線高速檢測需求Micro-Epsilon。

電子元件厚度檢測：共聚焦傳感器檢測手機屏幕玻璃、PCB 板涂層厚度，分辨率達納米級，保障元件一致性。

（三）焊接自動化

焊接過程需實時監(jiān)測路徑、間隙與焊縫質(zhì)量，MICRO-EPSILON 傳感器適配點焊、機器人焊接、增材制造等場景。

焊縫輪廓檢測：scancontrol 藍色激光掃描儀適配高溫焊接表面，實時檢測焊縫寬度、高度、坡口角度，識別氣孔、裂紋等缺陷。

焊接路徑規(guī)劃：激光傳感器實時檢測工件位置偏差，反饋至機器人控制系統(tǒng)，動態(tài)調(diào)整焊接軌跡，提升焊接精度與穩(wěn)定性。

（四）新能源與電池制造

新能源電池生產(chǎn)對極片厚度、隔膜對齊、電極間隙控制要求嚴格。

極片厚度測量：電容式傳感器在線檢測正負極極片厚度（精度 ±0.5μm），避免厚度不均導致的電池性能差異。

電池組裝間隙檢測：微型化激光傳感器檢測電池殼與電極間隙，適配狹窄安裝空間，保障組裝精度。

四、技術(shù)核心優(yōu)勢

（一）高測量精度與穩(wěn)定性

依托德國精密制造工藝與長期技術(shù)積累，產(chǎn)品測量精度覆蓋微米級至納米級，可在 - 40℃至 + 85℃寬溫域、振動、粉塵、油霧等惡劣工業(yè)環(huán)境中穩(wěn)定運行，信號漂移小，重復性高，適配工業(yè)量產(chǎn)線長期連續(xù)作業(yè)需求Micro-Epsilon。

（二）非接觸測量無損傷

全系列核心傳感器采用非接觸測量方式，無機械磨損，不損傷被測物體表面，適配柔軟材質(zhì)（如薄膜、極片）、精密元件（如晶圓、光學鏡片）的測量場景，避免接觸式測量導致的工件損壞與數(shù)據(jù)誤差。

（三）緊湊化設計易集成

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊、體積小巧，適配狹窄安裝空間；支持 EtherCAT、PROFIBUS、RS485 等主流工業(yè)接口，可快速集成至 PLC、工業(yè)機器人、自動化生產(chǎn)線等現(xiàn)有系統(tǒng)，適配 OEM 定制與批量生產(chǎn)需求Micro-Epsilon。

（四）多技術(shù)適配全場景

覆蓋激光、共聚焦、電容、渦流、3D 視覺等多種測量技術(shù)，可根據(jù)被測物體材質(zhì)（金屬 / 非金屬 / 透明）、測量維度（一維 / 二維 / 三維）、精度需求（微米 / 納米）及環(huán)境條件，提供針對性解決方案，適配多行業(yè)復雜測量場景。

五、總結(jié)

MICRO-EPSILON 憑借多元精密測量技術(shù)、的產(chǎn)品體系及扎實的工業(yè)應用經(jīng)驗，成為工業(yè)傳感領域的重要支撐力量。其產(chǎn)品聚焦非接觸、高精度、高穩(wěn)定性測量需求，覆蓋汽車、半導體、焊接、新能源等關鍵領域，為工業(yè)自動化升級、產(chǎn)品質(zhì)量提升、工藝優(yōu)化提供可靠的技術(shù)保障。隨著工業(yè) 4.0、智能制造的持續(xù)推進，工業(yè)生產(chǎn)對精密測量的需求將進一步提升，MICRO-EPSILON 也將持續(xù)迭代技術(shù)，拓展應用邊界，適配更多工業(yè)場景的測量需求。